膜厚测量

发布时间:2019-08-02 08:22:15

      薄膜测量系统是格外针对半导体、材料、生物医学薄膜的施行室明晰及在线监测征战的,用于测量薄膜反射率及膜层厚度的综合测量系统。该系统基于白光反射及干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。可以通过对白光干涉图样进行数学运算来教唆出薄膜厚度。对于单层膜来说,假如已知薄膜的n和k值就可以教唆出它的物理厚度。

      AvaSoft-Thinfilm软件内有一个包含局面部常用材料和膜层的n值和k值的数据库。TFProbe众层膜测量软件可以测量众达5层膜的厚度和光学常数(n、k值),完成实时或在线膜厚和折射率监控。

参数指标:

  • 辉煌棋牌光谱规模 200~1100nm 测量速度 2 ms minimum

  • 膜厚规模 10nm~200μm基底厚度up to 50mm thick

  • 辉煌棋牌分辨率 1nm 测量精度 better than 0.25




典范应用范畴:

  • Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半导模样造

  • 辉煌棋牌Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶显示器

  • 辉煌棋牌Forensics, Biological films and materials 医学、生物薄膜或材料

  • Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨,矿物学,颜料,碳粉

  • Pharmaceuticals, Medial Devices 制药

  • Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光学薄膜

  • Semiconductor compounds 半导体化合物

  • Functional films in MEMS/MOEMS 成效薄膜材料

  • Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅

    辉煌棋牌    

        AvaSoft-Thinfilm应用系统可以搭配众种应用系统附件,例如光纤众路复用器、显微镜、过真空装置等附件,完成众点位同时测量、微区测量、进程监控等繁杂范畴的应用。 例如:AvaSoft-Thinfilm应用系统能够实时监控膜层厚度,并且可以与其他AvaSoft应用软件如XLS输出到Excel软件和进程监控软件一同使用。